摘要
斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學(xué)測(cè)量?jī)x器,常用于高精度的光學(xué)表面質(zhì)量檢測(cè)。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù),我們建立了斐索干涉儀,并將其用于測(cè)試不同的光學(xué)表面,如柱面和球面,可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓很敏感。
建模任務(wù)
觀測(cè)傾斜平面
觀測(cè)柱面
觀測(cè)球面
走進(jìn)VirtualLab Fusion
VirtualLab Fusion的工作流程
設(shè)置輸入場(chǎng)
- 基本光源模型
使用表面構(gòu)造真實(shí)元件
定義元件的位置和方向
- LPD II:位置和方向
為非序列場(chǎng)追跡設(shè)置合適的通道
- 非序列場(chǎng)追跡的頻道設(shè)置
VirtualLab Fusion技術(shù)
文件信息
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