激光器經(jīng)過(guò)200多年的發(fā)展,已經(jīng)研制出了上百種不同的類型,它們特點(diǎn)各異,用途也不同,一般可以按照以下方法進(jìn)行分類。
①按工作介質(zhì)來(lái)分類。主要有氣體激光器、固體激光器和半導(dǎo)體激光器三種類型,此外還有化學(xué)激光器和自由電子激光器等。
a.氣體激光器。工作介質(zhì)主要以氣體狀態(tài)進(jìn)行發(fā)射的激光器,在常溫常壓下是氣體,有的物質(zhì)在通常條件下是液體(如水、汞)或者固體(如銅、鎘等),工作時(shí)加熱變?yōu)檎魵?,利用這類蒸氣作為工作介質(zhì)的也稱為氣體激光器。氣體激光器中除了發(fā)出激光的工作氣體混合。為了延長(zhǎng)器件的工作壽命及提高輸出功率,還加入了一定量的輔助氣體與工作氣體混合。氣體激光器所采用的工作物質(zhì)可以是原子氣體、分子氣體或離子氣體。在原子氣體激光器中,產(chǎn)生激光作用的是沒(méi)有電離的氣體原子,所用的氣體主要是幾種惰性氣體(如氦、氖、氬、氪、缸等),有時(shí)也可采用某些金屬原子(如銅、鋅、鎘、銫、汞等)蒸氣,或其他元素原子氣體等。原子氣體激光器的典型代表是He-Ne氣體激光器。在分子氣體激光器中,產(chǎn)生激光作用的是沒(méi)有電離的氣體分子,所采用的主要分子氣體工作物質(zhì)有CO2、CON2、H2和水蒸氣等。分子氣體激光器的典型代表是二氧化碳(CO2)激光器和氮分子(N2)激光器。離子氣體激光器利用電離化的氣體離子產(chǎn)生激光作用,主要的有惰性氣體離子和金屬蒸汽離子,這方面的代表型器件是氬離子激光器、氪離子激光器等。氣體激光器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低、操作方便、工作介質(zhì)均勻、光束質(zhì)量好以及能長(zhǎng)時(shí)間較穩(wěn)定地連續(xù)工作的優(yōu)點(diǎn)。因此,它是目前品種最多、應(yīng)用最廣泛的一類激光器。市場(chǎng)占有率達(dá)60%左右。
b.固體激光器。固體激光器的工作介質(zhì)是在作為基質(zhì)材料的晶體或玻璃中均勻摻入少量激活離子,除了用紅寶石和玻璃外,常用的還有在釔鋁石榴石(YAG)晶體中摻人三價(jià)奴離子(Nd3+)的激光器,它發(fā)射1060nm的近紅外激光。固體激光器連續(xù)功率一般可達(dá)1000W以上,脈沖峰值功率可達(dá)109W。一般固體激光器具有器件小、堅(jiān)固、使用方便、輸出功率大的特點(diǎn)。近年來(lái)發(fā)展十分迅猛的光纖激光器,其工作物質(zhì)是一段光纖,光纖中摻雜不同的元素。能夠產(chǎn)生波段范圍很寬的激光。
C.半導(dǎo)體激光器。半導(dǎo)體激光器以半導(dǎo)體材料作為工作介質(zhì),目前較成熟的是砷化稼激光器,發(fā)射840nm的激光。另有摻鋁的砷化鎵、硫化鉻、硫化鋅等激光器。半導(dǎo)體激光器的激勵(lì)方式主要有3種,即電注人式、光泵式和高能電子束激勵(lì)式。電注人式半導(dǎo)體激光器一般是由GaAs(砷化鎵)、InAs(砷化姻)、InSb(銻化姻)等材料制成的半導(dǎo)體面結(jié)型二極管,沿正向偏壓注人電流進(jìn)行激勵(lì)。光泵式半導(dǎo)體激光器,一般用N型或P型半導(dǎo)體單晶(如GaAs、 InSb等)作工作物質(zhì),以其他激光器發(fā)出的激光作光泵激勵(lì)。高能電子束激勵(lì)式半導(dǎo)體激光器,一般也是用N型或者P型半導(dǎo)體單晶(如PbS, US, ZnO等)作工作物質(zhì)的,通過(guò)由外部注人高能電子束進(jìn)行激勵(lì)。在半導(dǎo)體激光器件中,目前性能較好,應(yīng)用較廣的是具有雙異質(zhì)結(jié)構(gòu)的電注人式GaAs二極管激光器。半導(dǎo)體激光器體積小、質(zhì)量輕、壽命長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而堅(jiān)固,特別適于在飛機(jī)、車輛、宇宙飛船上使用。20世紀(jì)70年代末期,由于光纖通信和光盤技術(shù)的發(fā)展大大推動(dòng)了半導(dǎo)體激光器的發(fā)展。
②按波長(zhǎng)分類?,F(xiàn)有激光器覆蓋的波長(zhǎng)范圍包括遠(yuǎn)紅外、紅外、可見(jiàn)光、紫外直到遠(yuǎn)紫外,最近還研制出了X射線激光器和正在開(kāi)發(fā)的Y射線激光器。
③按激勵(lì)方式分類。激光器按照不同激勵(lì)方式可分為光激勵(lì)(光源或紫外光激勵(lì))、氣體放電激勵(lì)、化學(xué)反應(yīng)激勵(lì)、核反應(yīng)激勵(lì)等類型。
④按輸出方式不同分類。有連續(xù)激光、單脈沖激光、連續(xù)脈沖激光和超短脈沖激光,其中脈沖激光的峰值功率可以非常大。
⑤按激活介質(zhì)的拉子結(jié)構(gòu)不同分類。有原子、離子、分子和自由電子激光器。氦一氖激光器產(chǎn)生的激光是由效原子發(fā)射的,紅寶石激光器產(chǎn)生的激光則是由鉻離子發(fā)射的。另外還有二氧化碳分子發(fā)射的激光器。激光的頻率可以連續(xù)變化,而且可以覆蓋很寬的頻率范圍。
工作物質(zhì)不同,產(chǎn)生的激光波長(zhǎng)也不同。上述各式各樣激光器的出現(xiàn),主要是為了滿足不同的應(yīng)用目的。目前我國(guó)使用最多的激光器主要有Co2氣體激光器和Nd: YAG激光器,另外近年來(lái)隨著大功率光纖激光器制造技術(shù)的發(fā)展,其在工業(yè)中的應(yīng)用也逐漸增多。