美國MicroSense，LLC，前身為ADE Technologies，由四大主要業(yè)務(wù)組成——晶圓幾何計(jì)量系統(tǒng)、電容傳感器、振動(dòng)樣品磁力計(jì)和用于磁性測(cè)量的磁光克爾效應(yīng)（MOKE）工具。MicroSense為許多行業(yè)提供服務(wù)，包括半導(dǎo)體制造、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、機(jī)床、太陽能、汽車和高亮度LED。MicroSense憑借豐富的商業(yè)經(jīng)驗(yàn)、財(cái)務(wù)實(shí)力、全球支持和技術(shù)地位，為客戶提供價(jià)值和安全保障。MicroSense于2019年2月22日被KLA公司收購。
MicroSense的電容傳感器業(yè)務(wù)由Robert C.Abbe于1967年創(chuàng)立，開始是ADE公司的一部分。ADE公司以其富有遠(yuǎn)見和新穎的高分辨率非接觸測(cè)量方法而聞名，適用于要求苛刻的尺寸測(cè)量應(yīng)用。隨著時(shí)間的推移，ADE發(fā)展成為裸半導(dǎo)體晶片測(cè)量工具供應(yīng)商。用于位置和位移測(cè)量的高分辨率電容式傳感器（也稱為“電容計(jì)”）成為“ADE”和我們的商標(biāo)名稱“MicroSense”的代名詞。
MicroSense提供基于電容傳感技術(shù)的電容傳感器和OEM計(jì)量模塊，對(duì)太陽能晶片、藍(lán)寶石晶片、硬盤驅(qū)動(dòng)器電機(jī)、空氣軸承主軸、X-Y工作臺(tái)、光盤、汽車零部件和機(jī)床等產(chǎn)品進(jìn)行非常準(zhǔn)確、高帶寬的測(cè)量。我們的電容式位移傳感器提供了業(yè)界高的分辨率，小于0.05納米，穩(wěn)定性和更長的使用壽命。
MicroSense主要產(chǎn)品：
電容式傳感器
太陽能晶片厚度計(jì)量
振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)（VSM）
磁性計(jì)量學(xué)
尺寸晶圓計(jì)量系統(tǒng)
主要型號(hào)：
MicroSense 4800 Series、MicroSense 8800 Series、MicroSense 5800 Series、MicroSense 6800 Series、MicroSense Mini、MicroSense 6360、MicroSense SpinCheck、PV-6060、EZ VSM、Polar Kerr、KerrMapper、DiskMapper H8、UltraMap-C200、UltraMap-APBP、UltraMap-200B、6504-01、6504-01、6501、6502、6503、6620-LR
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