美國(guó)Inprentus Inc利用專有的納米級(jí)接觸模式光刻技術(shù)制造光學(xué)器件。Inprentus 設(shè)計(jì)、制造和銷售用于同步輻射設(shè)施、半導(dǎo)體制造和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)(AR)波導(dǎo)的衍射光柵。全球財(cái)富 500 強(qiáng)企業(yè)、學(xué)術(shù)機(jī)構(gòu)和政府實(shí)驗(yàn)室都在使用 Inprentus 的衍射光柵,用于各種科學(xué)和商業(yè)應(yīng)用。Inprentus公司由伊利諾伊大學(xué)香檳分校物理學(xué)教授Peter Abbamonte于2012年6月創(chuàng)立,旨在將創(chuàng)新的雙原子顯微鏡劃線技術(shù)商業(yè)化。
這項(xiàng)技術(shù)是表面高精度圖案化的通用方法,適用于 X 射線和超紫外衍射光學(xué),在這種光學(xué)中,須以 0.1 度的角度塑造特征,并在數(shù)十厘米的距離內(nèi)以納米級(jí)定位。
Inprentus主要產(chǎn)品:
衍射光柵、同步輻射光柵、輻射光柵、光譜學(xué)熾熱衍射光柵
主要型號(hào):
EUV、VLS、FEL