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PIEZOSYSTEM JENA壓電定位器PXY 200

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產(chǎn)品介紹

精確的平行運(yùn)動

Max.200µm的運(yùn)動范圍

無機(jī)械間隙

容易與其他壓電系統(tǒng)結(jié)合

精密銷孔,可精確調(diào)節(jié)

高動態(tài)范圍

可用于光纖定位、二維掃描系統(tǒng)、光束對準(zhǔn)、半導(dǎo)體、微操作

平行四邊形構(gòu)造的固態(tài)鉸鏈提供平行運(yùn)動,而在x和y方向上沒有機(jī)械間隙。這些構(gòu)造原理得到非常高的分辨率,遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了機(jī)械和機(jī)電定位系統(tǒng)的分辨率。壓電定位器PXY 200系列可以輕松安裝到其他定位系統(tǒng),并可以配備克服磁滯效應(yīng)的測量設(shè)備(應(yīng)變儀)。動態(tài)操作是可能的,PXY 200壓電元件非常適合解決掃描問題。

產(chǎn)品參數(shù)

軸:X,Y

開環(huán)運(yùn)動(±10%)/閉環(huán)運(yùn)動(±0.2%):200 /-µm

每軸電容(±20%):5.2µF

分辨率(開/閉環(huán)):0.4 /- nm

諧振頻率x / y(空載):350/350 Hz

推/拉力

X軸:max. 130/13 N

Y軸:130/13 N

剛度x / y :0.65 / 0.65 N /μm

電壓范圍:-20…130V

電纜長度:1 m

溫度范圍:-20°C…+ 80°C

材料:鋁/不銹鋼

尺寸(長x寬x高):70x70x25 mm

中心孔徑(直徑):28 mm

重量:350 g

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