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PI光纖對準(zhǔn)系統(tǒng)F-712.MA2

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  • 品牌名稱：PI
  • 規(guī)格型號：F-712.MA2
產(chǎn)品介紹

集成的掃描程序可進(jìn)行光纖對準(zhǔn)

硅光子學(xué)的理想選擇

廣泛的軟件包

直接檢測光信號

位置傳感器具有高精度和高操作可靠性

<0.5s內(nèi)自動(dòng)對準(zhǔn)多根光纖

快速高精度的驅(qū)動(dòng)器

光纖對準(zhǔn)系統(tǒng)的基礎(chǔ)是非常堅(jiān)固的XYZ設(shè)置，包括三個(gè)電動(dòng)線性平臺(tái)和一個(gè)P-616 NanoCube納米定位器。低的整體高度簡化了在有限安裝空間中的集成。電動(dòng)驅(qū)動(dòng)器可以實(shí)現(xiàn)更長的行程范圍，同時(shí)，NanoCube納米定位器可確?？焖賿呙柽\(yùn)動(dòng)并動(dòng)態(tài)補(bǔ)償漂移效應(yīng)。撓性導(dǎo)軌和全陶瓷絕緣PICMA執(zhí)行器確保了較長的使用壽命。因?yàn)樗序?qū)動(dòng)器都配備了位置傳感器，所以例如可以可靠地防止與昂貴的硅晶片發(fā)生碰撞。

廣泛的軟件包

供貨范圍內(nèi)提供的軟件包允許將系統(tǒng)集成到幾乎所有環(huán)境中。支持所有常見的操作系統(tǒng)，例如Windows，Linux和macOS，以及許多常見的編程語言，包括MATLAB和NI LabVIEW。得益于復(fù)雜的程序示例和軟件工具（如PIMikroMove）的使用，開始集成和生產(chǎn)操作之間的時(shí)間大大縮短了。

高性能掃描程序

復(fù)雜的掃描例程直接集成到控制器中。性能顯著提高，集成簡化。該系統(tǒng)可以管理光纖對準(zhǔn)領(lǐng)域中的所有任務(wù)。例如，雙面系統(tǒng)允許發(fā)射機(jī)和接收機(jī)同時(shí)對準(zhǔn)。

高分辨率模擬輸入

控制器直接通過高分辨率的模擬輸入接收光強(qiáng)度信號。無需使用攝像機(jī)進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置。各種分布函數(shù)可用于確定更大強(qiáng)度。

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)組件的對準(zhǔn)，自動(dòng)晶圓測試，硅光子學(xué)中的組裝技術(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

活動(dòng)軸數(shù)：12

粗略定位

主動(dòng)軸：X，Y，Z

X，Y，Z的行程范圍：25、25、25 mm

增量運(yùn)動(dòng)：min.3 μm

速度：min.20 mm / s

感應(yīng)器類型：旋轉(zhuǎn)編碼器

導(dǎo)軌：交叉滾子導(dǎo)軌

驅(qū)動(dòng)類型：直流馬達(dá)

精細(xì)定位

主動(dòng)軸：X，Y，Z

X，Y，Z閉環(huán)行程：100 μm

增量運(yùn)動(dòng)，開環(huán)：min.0.3 nm

增量運(yùn)動(dòng)，閉環(huán)：2.5 nm

線性誤差，對于整個(gè)行程：2％

重復(fù)性（雙向）10％行程范圍：2nm

傳感器類型：增量式

驅(qū)動(dòng)類型：PICMA

對準(zhǔn)

500 μm?螺旋區(qū)域掃描時(shí)間：<6 s

100 μm?螺旋面掃描時(shí)間：<1 s

10 μm?螺旋區(qū)域掃描時(shí)間：<0.5 s

±5 μm（重復(fù)性<0.01 dB）掃描時(shí)間，梯度掃描，隨機(jī)：<0.3s

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