產(chǎn)品中心
產(chǎn)品介紹
軟電暈預(yù)電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
風(fēng)冷/可選液冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學(xué)支架
能量穩(wěn)定模式
新一代緊湊型風(fēng)冷，高重復(fù)頻率的準分子激光器，專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計。
產(chǎn)品參數(shù)
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氣體介質(zhì) |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
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波長 nm |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
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高壓開關(guān)技術(shù) |
固態(tài)開關(guān) |
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重復(fù)率max. Hz |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
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脈沖能量max. mJ |
0.5 |
4.0 |
6.5 |
3.0 |
2.5 |
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平均功率max. W |
500 |
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脈沖持續(xù)時間 ns |
5-8 |
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光束尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
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光束發(fā)散角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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能量穩(wěn)定性（標準偏差）% |
< 3 |
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尺寸（長x寬x高）mm |
540 x 470 x 370 |
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重量 kg |
60 |
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冷卻 |
冷卻空氣/可選液體 |
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電源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz |
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津公網(wǎng)安備12010102000950號