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CYBER TECHNOLOGIES厚度測(cè)量儀CT 350T

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產(chǎn)品介紹

快速準(zhǔn)確的雙面掃描系統(tǒng)

測(cè)量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz

在x和y方向上移動(dòng)300 mm（200 mm），橫向分辨率為50 nm，電動(dòng)z軸分辨率為20 nm

2D輪廓，3D地形圖和3D厚度圖

掃描范圍大

x，y，z分辨率，行程為max.300 mm（200 mm）

零件厚度max.80 mm

彩色白光傳感器

高分辨率離軸相機(jī)

CT 350T是一款非接觸式雙面光學(xué)輪廓儀，具有300毫米x，y掃描臺(tái)。頂部和底部傳感器安裝在行程為100 mm的高精度Z軸上。雙面自動(dòng)對(duì)焦功能甚至可以測(cè)量嚴(yán)重彎曲或彎曲的零件。兩個(gè)傳感器均收集與x，y編碼器信號(hào)同步的高度數(shù)據(jù)，并軸向?qū)R以確保精確的差分厚度測(cè)量。該軟件同時(shí)從頂部和底部表面生成2D輪廓和3D貼圖，并計(jì)算相應(yīng)的總厚度輪廓或貼圖。

運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)使用快速，準(zhǔn)確的磁性直線電機(jī)。通過以4 kHz的數(shù)據(jù)速率觸發(fā)彩色白光傳感器，可以將檢查時(shí)間更小化。通過在平臺(tái)孔上安裝轉(zhuǎn)接板，該系統(tǒng)可以用作標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)表面輪廓儀，使CT 350T成為功能廣泛的表面和厚度測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)也有較小的版本，如CT 250T，具有200 mm的行程，非常適合8英寸晶圓或基板和太陽能晶圓。

產(chǎn)品參數(shù)

集成系統(tǒng)控制器：包括運(yùn)動(dòng)控制，傳感器控制器（4 kHz），電源，工作站的USB接口

工作站電腦：查詢當(dāng)前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器

連接方式：以太網(wǎng)，DVD驅(qū)動(dòng)器，USB（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠標(biāo)，DVI和模擬視頻輸出

電源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）

測(cè)量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）

線性編碼器分辨率

X，Y：50 nm（2μin）

Z：5 nm（0.2 µin）

橫向分辨率：1微米（載物臺(tái)分辨率：50 nm）

X和Y的行程限制（電動(dòng)）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）

Z行程限制（電動(dòng)）：100 mm (4 in)

平臺(tái)上的負(fù)載：max.10 kg

可用的傳感器：共焦白光傳感器

工作溫度：18°-20°C（64°F – 68°F）

尺寸（長X寬X高）：1290 x 1082 x 1425 [mm]（約43 x 51 x 56 [in]）

重量：650 kg (1.433 lbs)

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