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LynceeTec全息顯微鏡Reflection DHM

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  • 品牌名稱：LynceeTec
  • 規(guī)格型號：Reflection DHM
產(chǎn)品介紹

Reflection DHM 是反射配置的全息顯微鏡。它們是測量全反射和部分反射物體的理想選擇。它們能夠處理低反射界面（反射率低至1%以下），是對各種樣品進行準(zhǔn)確光學(xué)形貌測量的理想儀器。

性能特點
  • 高采集率和易用性
  • 實現(xiàn)快速常規(guī)檢查、自動化工業(yè)質(zhì)量控制以及創(chuàng)新的研發(fā)應(yīng)用，尤其是動態(tài)觀測
  • DHM與可選的頻閃模塊和用于MEMS分析和反射率分析的后分析軟件兼容
  • 每個DHM都可以用自己的結(jié)構(gòu)來固定，或者只作為一個頭，安裝在其他結(jié)構(gòu)或生產(chǎn)線上
  • DHM可與多種可選的電動載物臺兼容
  • 它有能力和靈活性為您提供定制和OEM系統(tǒng)
選型指南

有三種可用配置，由波長的數(shù)量和組合定義：

R-1000系列：單激光源

R-2100系列：雙激光源

R-2200系列：三個激光源

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品：瑞士

配置：單激光源

特異性：單波長

測量模式：單波長

分辨率：亞納米

測量：實時

精度（通過在30次測量中對1個像素進行時間標(biāo)準(zhǔn)偏差來證明）：0.15 nm

垂直分辨率（定義為精度的兩倍）：0.30 nm

重復(fù)性（通過在SiC參考鏡上進行30次重復(fù)性測量的一sigma Rq值來證明）：0.01 nm

垂直測量范圍（無任何掃描）：連續(xù)結(jié)構(gòu)可達200μm

帶銳邊臺階的高度（取決于激光源和工作波長）：max. 333 nm

產(chǎn)品參數(shù)

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