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INTELLEMETRICS晶圓視覺系統(tǒng)VS3

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產(chǎn)品介紹

35年來，我們一直在為光學(xué)涂層和等離子體蝕刻行業(yè)開發(fā)現(xiàn)場監(jiān)測和控制儀器。Intellemetrics推出了一系列晶圓視覺系統(tǒng)，專門設(shè)計用于在負載鎖定真空蝕刻和沉積室內(nèi)觀察圖案化晶圓，以檢查是否已加載正確的晶圓，并確認相對于掩模圖案的對齊和放置。圖像分辨率取決于工作距離和視場，但通常在5mm的工作距離（適用于ICP蝕刻和沉積室）和600mm視場下可以獲得7μm的分辨率。

性能特點
  • 5 M 像素高分辨率相機圖像
  • 共線晶圓照明
  • 成像距離從100mm到1000mm
  • 可見特征尺寸低至 5um
  • 手動和電動對焦選項
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：英國
  • 攝像頭：
  • 傳感器類型：CMOS
  • 傳感器尺寸：5像素，2560 x 1920像素
  • 像素大?。?.2um
  • 電源要求：
  • 接口：GigE
  • 電源：12至24 Vdc
  • 功耗：3.5W
  • 是否進口：是
  • 封裝：廠家制定
  • 性能：良好
  • 可靠性：高
產(chǎn)品參數(shù)

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