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CDE四點(diǎn)探針電阻儀ResMap 178

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  • 品牌名稱(chēng)：CDE
  • 規(guī)格型號(hào)：ResMap 178
產(chǎn)品介紹

ResMap Model 178已成為成本效益電阻率測(cè)量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。該四點(diǎn)探針旨在滿足工藝開(kāi)發(fā)和工具表征工程師的需求，具有所需的準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和可靠性。其龐大的安裝基礎(chǔ)證明了其性能、易用性和低擁有成本。

CDE的成立旨在為半導(dǎo)體及相關(guān)行業(yè)開(kāi)發(fā)和制造高性能、高性價(jià)比的晶圓計(jì)量工具。CDE ResMap是一系列適用于各種應(yīng)用的自動(dòng)電阻率測(cè)繪系統(tǒng)。4點(diǎn)探針測(cè)量工具是一種儀器，用于測(cè)量導(dǎo)電介質(zhì)（通常是半導(dǎo)體應(yīng)用的薄膜）中的薄層電阻（或Rs）。

性能特點(diǎn)
  • 準(zhǔn)確性
  • 可重復(fù)性
  • 可靠性
技術(shù)參數(shù)
  • 晶片處理：手動(dòng)裝載
  • 晶圓尺寸：2英寸至8英寸
  • 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
  • 典型測(cè)量時(shí)間：每個(gè)站點(diǎn)1秒
  • max吞吐量：每片晶圓1分鐘（49個(gè)站點(diǎn)）
  • 測(cè)量范圍：2米?/-5米?/（可以優(yōu)化到1米?/）
  • 重復(fù)性（1σ，典型）：≤±0.02%（靜態(tài)或Rs-pack）；≤±0.1%（動(dòng)態(tài)近點(diǎn)）
  • 精度：使用NIST traceableResCal標(biāo)準(zhǔn)≤±0.5%
  • min邊緣排除：1.5mm（探頭中心到薄膜邊緣）
  • 交流電源：100V至240V<10 KVA
  • 產(chǎn)地：美國(guó)
產(chǎn)品參數(shù)

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