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NEOARKGHz振動觀測系統(tǒng)MLD-101

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  • 品牌名稱：NEOARK
  • 規(guī)格型號：MLD-101
產(chǎn)品介紹

基于激光的觀察系統(tǒng)專為基于電介質(zhì)/壓電的高頻器件（例如 SAW 濾波器（叉指換能器 (IDT)）和薄膜體聲波諧振器 (FBAR) 的表面聲波 (SAW) 和體聲波 (BAW) 的可視化而設(shè)計。

性能特點
  • 適用于不同頻率下物理聲波傳播的分析
  • 短時間廣域觀測
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：日本
  • 振動檢測方法：基于Sagnac干涉儀的振動檢測（峰值頻率靈敏度：5GHz）
  • 振動觀測方法：用激光束探頭進(jìn)行臺架控制掃描觀測（用于平面外振動）
  • 觀察光源：二極管激光器（波長：650nm，典型），發(fā)光二極管
  • 可用物鏡：×20、×50、×100物鏡
  • 觀測頻率：500MHz～6GHz（典型值）
  • 驅(qū)動信號輸入范圍*1:50MHz～6GHz（-120dBM～+15dBM）*2
  • 最大可分析面積：25mm×25mm
  • 可接受的工作量：最大8英寸晶圓
  • 樣品臺：電動X-Y臺
  • 結(jié)構(gòu)：主體/電氣單元/信號發(fā)生器/鎖定放大器/舞臺驅(qū)動器/PC/軟件
產(chǎn)品參數(shù)

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