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產(chǎn)品中心

Meiritz主動氣動懸架系統(tǒng)MRZ-200

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  • 品牌名稱:Meiritz
  • 規(guī)格型號:MRZ-200
產(chǎn)品介紹

迄今為止,我們積累的知識已生產(chǎn)出 600 多種類型的被動隔振器。對我們的主動隔振器的需求也在不斷增長,尤其是在半導體等高精度制造行業(yè)。以MAPS系列為基礎(chǔ),開發(fā)出高性能合理的主動氣動懸架系統(tǒng)MRZ系列??蓱?yīng)用于半導體設(shè)備、電子顯微鏡、測量機等。

性能特點
  • 每個單元有兩個氣壓執(zhí)行器:垂直和水平,可以體驗良好的隔振、準確定位性能。
  • FB+FloorFF控制。
  • 實現(xiàn)輕巧緊湊,省電,價格合理。
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地:日本
  • 供給氣壓:0.6~0.8(潔凈干燥空氣)MPa
  • 典型耗氣量:45-65l/min
  • 最大耗氣量:120l/min
  • 電源電壓:100~240(單相交流電,50/60Hz)V
  • 最大功耗:120VA
  • 環(huán)境溫度:0~40℃
  • 相對濕度:35-85%RH
  • 隔振方式:通過氣壓控制隔振
  • 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
  • 控制器質(zhì)量:7.5kg
產(chǎn)品參數(shù)

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