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TESCAN顯微鏡S9000G

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  • 品牌名稱：TESCAN
  • 規(guī)格型號：S9000G
產(chǎn)品介紹

TESCAN S9000G是一種鎵FIB-SEM系統(tǒng)，旨在進(jìn)行先進(jìn)的超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰(zhàn)性的制造任務(wù)，這些任務(wù)需要分辨率以及新的離子光學(xué)和加工能力。TESCAN S9000G采用Triglav SEM柱，具有高分辨率和優(yōu)異的性能，改進(jìn)了束內(nèi)檢測系統(tǒng)，具有過濾電子信號收集功能，為新的對比度和增強(qiáng)的表面靈敏度打開了窗口。TESCAN S9000G配備Orage FIB柱，不僅在制造精度方面達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)，而且可以使用高離子束電流；從而使進(jìn)行大體積樣品分析成為可能。此外，高達(dá)100nA的高離子束電流能夠以優(yōu)異的對比度對生物樣本和材料進(jìn)行特定位置的大體積FIB-SEM斷層掃描。TESCAN S9000G由新的Essence軟件接口控制，該接口具有易于學(xué)習(xí)、面向應(yīng)用和可定制的布局，以及具有樣品制備自動化功能的軟件模塊。所有功能都旨在輕松實(shí)現(xiàn)控制和大吞吐量。

性能特點(diǎn)
  • 優(yōu)異的樣品制備質(zhì)量
  • 大限度地制備各類樣品
  • 更充分的利用離子束
  • 更加優(yōu)異的成像能力
  • 快速三維分析功能
  • 增強(qiáng)的表面靈敏度、襯度
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：捷克
  • 電子光學(xué)：
  • 電子光學(xué)：配備三透鏡復(fù)合TriLens物鏡的Triglav柱
  • 電子槍：高亮度肖特基發(fā)射極
  • 最大視野：
  • WD Analytical 5 mm時為4.3 mm WD 30 mm時為7.0 mm
  • 電子束能量：使用BDT選項(xiàng)，200 eV至30 keV/降至50 eV
  • 探針電流：2 pA至400 nA
  • 離子光學(xué)：
  • 離子柱：Orage Ga-FIB柱
  • 離子槍：Ga液態(tài)金屬離子源
  • 離子束能量：0.5 keV至30 keV
  • 探針電流：<1 pA至100 nA
  • 分辨率：30keV時＜2.5 nm（在SEM-FIB重合點(diǎn)）
  • SEM-FIB角度：55°
產(chǎn)品應(yīng)用
  • 半導(dǎo)體器件的物理失效分析
  • 生物標(biāo)本的FIB-SEM斷層掃描
產(chǎn)品參數(shù)

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