microPREP PRO是用于微米級激光樣品制備的工具。它使基于激光的樣品制備能夠用于各種樣品制備應(yīng)用。它補充了現(xiàn)有的樣品制備方法,如離子束處理。microPREP PRO可以燒蝕金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、聚合物和化合物材料。它為材料和工藝開發(fā)以及失效分析創(chuàng)造了新的前景。microPREP PRO系統(tǒng)的主要組件是一個激光源,可以實現(xiàn)高精度的高消融率。根據(jù)個人準(zhǔn)備需要,可提供不同的激光源。microPREP PRO的定位系統(tǒng)配有壓電執(zhí)行器和兩個攝像頭,使用戶可以將樣本直接帶到超準(zhǔn)確的位置,以完成所需的準(zhǔn)備任務(wù)。集成清潔系統(tǒng)可防止光學(xué)元件受到污染。