8-0240無(wú)間隙運(yùn)行確保高運(yùn)動(dòng)精度 +0.5 μm 或更高的所有方向的雙向重復(fù)性有效值;校準(zhǔn)精度高達(dá) +1.5 μm 或更高,整個(gè)可用行程范圍;保證了低角度偏差(低至 +20 μrad)和 +25 μrad 或更好的正交性;超過(guò) 1000 mm/s 的高速度和 15 000 mm/s 的高加速度帶來(lái)了高產(chǎn)量和生產(chǎn)率;帶有可調(diào)氣動(dòng)重量補(bǔ)償裝置的直接驅(qū)動(dòng)垂直軸,適用于不確定的刀具重量,確保了多功能性;所有 XYZ 模塊中都集成了無(wú)鐵電機(jī),確保了高動(dòng)態(tài)范圍和動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性;直接安裝在負(fù)載上的增量反饋系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙伺服控制和即時(shí)動(dòng)態(tài)響應(yīng);提供Abs編碼器選項(xiàng),防止系統(tǒng)歸位運(yùn)行;新型的實(shí)際龍門(mén)控制算法可確保穩(wěn)定性和低動(dòng)態(tài)誤差;靈活的模塊化設(shè)計(jì)可滿(mǎn)足廣泛的應(yīng)用要求、適合半導(dǎo)體制造或計(jì)量、鉆孔、激光燒蝕等應(yīng)用;機(jī)構(gòu)復(fù)雜度低,可在不同行程范圍內(nèi)快速擴(kuò)展類(lèi)似系統(tǒng)。
定位范圍 XY - 1000 x 1300 mm,Y - 90 mm
+0. 5 μm 或更好的雙向重復(fù)性 RMS
+1.5 μum 或更好的校準(zhǔn)Abs精度
速度 1000 m/s,加速度 15 000 mm/s2
靈活的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)任何要求進(jìn)行定制
可定制系統(tǒng)尺寸和行程范圍
產(chǎn)地:立陶宛
編碼器類(lèi)型:光柵
編碼器型號(hào):LEN1
編碼器分辨率(nm):低至 0.3
編碼器接口:1 Vpp 或 Dierential RS422
內(nèi)部乘法器:是
乘法器:x 65536
編碼器光柵周期(μm):20
參考標(biāo)記(指數(shù)):是
Abs精度(校正后):±1.5;±1.5;±0.5 μm
雙軸重復(fù)性 (RMS):±0.5;±0.5;±0.1 μm
俯仰角:±15/±3.1;±42/±8.66;±551 ±11.34
偏航,拉德/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±55/±11.34
滾動(dòng),垂距/角秒:±7.5/±1.55;±42/±8.66;±551 ±11.34
Max Vloit(無(wú)負(fù)荷,4 個(gè)電機(jī)),mm/s:1000
Max Acleaton (空載,4 個(gè)電機(jī)),mm/s2:10000
限位開(kāi)關(guān)類(lèi)型:霍爾傳感器
限位開(kāi)關(guān)電壓:5至24 V
線(xiàn)性平臺(tái)總尺寸(寬 x 長(zhǎng) x 高):2300 x 1690 x 912 mm
移動(dòng)平臺(tái)尺寸(寬 x 長(zhǎng)):295 x 130 mm
測(cè)量系統(tǒng):公制/英制
光度,μurad/arcsec:48.48/10
航空、海洋、地質(zhì)勘探、測(cè)繪等
半導(dǎo)體制造或計(jì)量、鉆孔、激光燒蝕等應(yīng)用