1.6 千瓦、Q 開關(guān)、DPSS 激光器,在 1064 nm非偏振波段可提供高平均功率和高峰值功率。該平臺采用久經(jīng)考驗(yàn)的堅(jiān)固激光頭設(shè)計(jì)、新型的通用控制系統(tǒng)架構(gòu)以及與 OEM 設(shè)備和工藝線的簡單同步,適合大批量工業(yè)應(yīng)用。該系統(tǒng)可作為一對激光頭和控制機(jī)架,提供光纖或自由空間光束傳輸選項(xiàng),也可集成到一個設(shè)備中,僅提供光纖傳輸。
脈沖能量高達(dá) 250 mJ
M2=30
高穩(wěn)定性
狀態(tài)監(jiān)測
光纖傳輸(圓形或方形)
可選計(jì)算機(jī)控制衰減
可選的重復(fù)頻率優(yōu)化
產(chǎn)地:英國
脈沖重復(fù)頻率(kHz):5
平均功率(W):1250
脈沖能量(mJ):250
脈沖持續(xù)時間(ns):42
發(fā)散(mrad,1/e2 FA):12
M2:30
功率穩(wěn)定性(%,1σ):0.3
電源電壓:3 相 N+E,400 VAC (±10%)
電源頻率:50 或 60 Hz
標(biāo)稱功耗:29 kVA
冷卻水:60 升/分鐘,溫度 11 - 17°C
氣體清洗:清潔干燥空氣(N 5.0 級,<1 ppm THC)
激光器尺寸:1988 x 1657.6 x 927.4 mm
環(huán)境溫度:15 - 50°C
相對濕度:<60%(Max 90%,無冷凝)
材料加工、光伏加工、薄膜去除、快速激光制版 (RLP)、紫外(EUV)發(fā)生器