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產(chǎn)品分類

品牌標(biāo)簽

COHERENT準(zhǔn)分子激光器COMPex 50

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  • 品牌名稱：COHERENT
  • 規(guī)格型號(hào)：COMPex 50
產(chǎn)品介紹

COMPex準(zhǔn)分子激光器是效率高的光源，具有緊湊的設(shè)計(jì)和易于安裝和操作的特點(diǎn)。它們?cè)谝罂量痰膽?yīng)用中提供更佳的結(jié)果，如固體取樣系統(tǒng)（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和準(zhǔn)確的材料處理。COMPex具有陶瓷預(yù)電離功能，可提供高達(dá)100毫焦耳的輸出，以及脈沖上脈沖穩(wěn)定性。COMPex還配備了一個(gè)改進(jìn)的氣體處理器，可以延長(zhǎng)氣體和光學(xué)壽命。

性能特點(diǎn)
  • 選擇157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)全材料柔性
  • 高達(dá)750 mJ的更好的脈沖能量，可在大視場(chǎng)下進(jìn)行有效消融
  • 75%的脈沖穩(wěn)定性，均方根值，確保高通量控制
  • 基礎(chǔ)脈沖控制和系統(tǒng)參數(shù)記錄，提供智能和可復(fù)制的薄膜
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國(guó)

波長(zhǎng)：193 nm

脈沖能量：100 mJ

重復(fù)頻率：max.50 Hz

平均功率：4 W

能量穩(wěn)定性（1西格瑪）：≤0.75%

脈沖持續(xù)時(shí)間（FWHM）：典型值20 ns

橫梁尺寸（V x H，F(xiàn)WHM）：典型值14 x 5 mm2

光束發(fā)散（V x H，F(xiàn)WHM）：典型值2 x 1 mrad2

光束指向穩(wěn)定性（1 sigma）：≤50µrad

水冷：≤5升/分鐘（1.3加侖/分鐘），10至20°C

連接：1/2“

重量：280公斤（617磅）

尺寸（長(zhǎng)x寬x高）：1258 x 375 x 813 mm³

（50 x 15 x 32 in.³）

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

PLD–脈沖激光沉積

薄晶圓加工

激光剝離

LA-ICP-MS

產(chǎn)品參數(shù)

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