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Veeco Instruments退火系統(tǒng)LSA 101

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產(chǎn)品介紹

Veeco的LSA101系統(tǒng)安裝在DM和鑄造廠，是大批量生產(chǎn)40nm至14nm節(jié)點的邏輯器件的技術(shù)。LSA101的掃描技術(shù)建立在Veeco可定制的Unity平臺上，在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有基本優(yōu)勢。LSA101系統(tǒng)實現(xiàn)了關(guān)鍵毫秒退火應(yīng)用，使客戶能夠保持準確、有針對性的高處理溫度，從而實現(xiàn)器件性能的提高、更低的泄漏和更高的產(chǎn)量。

標準LSA101配置利用單個窄激光束將晶片表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應(yīng)對日益復(fù)雜的工藝需求，Veeco開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴展了非熔化激光退火的應(yīng)用空間，并采用第二種低功率激光束實現(xiàn)低溫加工。當使用雙光束時，引入第二較寬的激光束來預(yù)熱晶片。雙梁系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力分布方面提供了靈活性。

性能特點
  • Ultratech的激光處理系統(tǒng)提供了解決方案，以應(yīng)對制造具有高度激活的源極/漏極觸點的超淺結(jié)晶體管的艱巨挑戰(zhàn)
  • LSA在高達1350°C的溫度下提供亞毫秒熱退火過程，從而以小的摻雜劑擴散減少激活
  • Ultratech的光學(xué)設(shè)計與其他毫秒退火系統(tǒng)相比，將與圖案相關(guān)的模內(nèi)溫度變化減少了>10倍
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國

節(jié)點：40nm到10nm

平臺：Unity Platform

系統(tǒng)類型：雙梁

技術(shù)：雙光束

精度：亞毫秒

溫度：高達1350°C

加工方式：低溫

安裝：DM和鑄造廠

標準配置：單個窄激光束

 

產(chǎn)品參數(shù)

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