VT750是用于生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗(yàn)和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的干涉儀塔。此外,還提供“tower only”版本“B”,用于集成現(xiàn)有或第三方干涉儀單元,或配備ZYGO Verifire和ZYGO MX條紋分析軟件的版本“Z”。該系統(tǒng)可以配備PC桌、2個(gè)屏幕、鼠標(biāo)和鍵盤(pán),也可以配備內(nèi)置PC和觸摸面板,以?xún)?yōu)化操作并更大限度地減少生產(chǎn)環(huán)境中的空間需求。
VT750 ST:配備XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),帶10倍光學(xué)變焦和靜態(tài)條紋分析系統(tǒng)XONOX“X-fringe ST”
VT750 PS2:配備XONOX X-fiz 100(4英寸)/X-fiz 130(5.2英寸),帶10倍光學(xué)變焦,相移條紋分析系統(tǒng)XONOX“X-frige²”和壓電移相器XONOX”X-phase PMR“
VT750 Z:帶ZYGO Verifire 4“或6”干涉儀單元和Mx相移條紋分析
VT750 B:用于集成現(xiàn)有干涉儀單元的“tower only”版本。
可選配XONOX條紋分析系統(tǒng)X-fringe²ST或帶X相PMR移相器的X-fridge²PS。
產(chǎn)地:美國(guó)
行程范圍:max.750mm(800mm線(xiàn)性刻度范圍)
測(cè)試直徑:max.200mm(取決于使用的TS和零件支架)
測(cè)量系統(tǒng):帶PC接口和溫度擴(kuò)展補(bǔ)償功能的增量高精度線(xiàn)性測(cè)量系統(tǒng)(標(biāo)準(zhǔn))/可選激光放電測(cè)量系統(tǒng)(可選)
測(cè)量精度:20°C時(shí)每500mm高達(dá)+/-0.7μm
分辨率:高達(dá)0.1µm(標(biāo)準(zhǔn)0.5µm)
尺寸(寬x深x高):800 x 900 x 2100 mm
(如果使用PC進(jìn)行條紋分析,則需要額外的空間,XONOX PC臺(tái)可選)
連接:10-240V/50-60Hz
壓縮空氣:6bar
重量:約500kg
顏色:淺灰色RAL 7035