ELIONIX自1975年創(chuàng)立以來，一直以制作對(duì)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步做出貢獻(xiàn)的裝置為目標(biāo)，向世界送出了技術(shù)的研究開發(fā)用裝置。1997年，電子束描繪裝置開發(fā)出了能描繪當(dāng)時(shí)高規(guī)格為1/5的線寬10nm的高精細(xì)電子束描繪裝置，之后也相繼開發(fā)了世界高性能的裝置。以兩個(gè)CS“挑戰(zhàn)與速度”“客戶滿意度”為基本理念，一直在進(jìn)行領(lǐng)頭于其他公司的裝置開發(fā)。研究開發(fā)用裝置也被日本國內(nèi)及世界的大學(xué)·公共機(jī)關(guān)等導(dǎo)入，受到著高水平的評(píng)價(jià)，不過，今后也致力于從研究開發(fā)面向事業(yè)化的生產(chǎn)用裝置的開發(fā)·銷售。我們今后也將作為世界各地的各位解決課題的合作伙伴，以提供高性能的裝置、滿足世界品牌的企業(yè)為目標(biāo)。
ELIONIX主要產(chǎn)品：
電子束光刻系統(tǒng)、離子刻蝕機(jī)、電子線3D粗糙度分析儀、納米壓痕儀
ELIONIX主要型號(hào)：
EIS-200ERP、ELS-BODEN、ELS-BODEN Σ、ELS-HAYATE、EIS-220P、EIS-1500、ERA-9200、ERA-nanoR、ERA-600SP、ERA-600H2、ERA-600Series
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產(chǎn)品展示
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