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ELIONIX電子束光刻系統(tǒng)ELS-HAYATE

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  • 品牌名稱：ELIONIX
  • 規(guī)格型號(hào)：ELS-HAYATE
產(chǎn)品介紹

ELS-HAYATE能夠在數(shù)小時(shí)內(nèi)制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細(xì)圖案分辨率的大型制造寫入場(chǎng)。

性能特點(diǎn)
  • 可實(shí)現(xiàn)字段大小5mm的統(tǒng)一繪制
  • 實(shí)現(xiàn)了業(yè)界的5毫米偏轉(zhuǎn)。因?yàn)榭梢越y(tǒng)一繪制的區(qū)域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應(yīng)用程序。此外，由于樣品表面內(nèi)的載物臺(tái)移動(dòng)次數(shù)也減少，高吞吐量的微細(xì)加工也能起到作用。
  • 采用大電流電子光學(xué)系統(tǒng)
  • 配備高電流電子光學(xué)系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)超出電子束光刻常識(shí)的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產(chǎn)生的微米到毫米量級(jí)的圖案，現(xiàn)在可以高質(zhì)量曝光。
  • 400MHz生產(chǎn)用高速掃描時(shí)鐘
  • 當(dāng)在高電流下進(jìn)行光刻時(shí)，須將光斑間距設(shè)置得較寬，以平衡小劑量時(shí)間和良好劑量。
技術(shù)參數(shù)
  • 產(chǎn)地：日本
  • 加速電壓：50 kV
  • 束流：1 nA～800 nA
  • 最小光束直徑：D 10 nm
  • 標(biāo)準(zhǔn)場(chǎng)尺寸：5000μm
  • 最小/最大字段大?。?/li>
  • 最小1000μm
  • 最大5000μm
  • 掃描時(shí)鐘：最大400MHz
  • 最小發(fā)射間距：最小1.0nm
  • 最大樣品尺寸：8“晶圓/12”晶圓
  • 最大曝光F/S：200毫米x 200毫米/300毫米x 300毫米
  • 加載機(jī)制：
  • 單臺(tái)自動(dòng)裝載機(jī)
  • 多功能自動(dòng)裝載機(jī)
  • 機(jī)器人裝載機(jī)
產(chǎn)品參數(shù)

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