WCT-120PL是使用光致發(fā)光傳感器的硅片壽命測試儀。WCT-120PL硅片壽命測試工包含了WCT-120儀器獨(dú)特的測量和分析技術(shù)的同時(shí),又增加了光致發(fā)光(PL) 傳感器,以基于PL信號測試壽命和摻雜水平。準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)導(dǎo)(QSSPC) 壽命測試方法和瞬態(tài)光電導(dǎo)衰減壽命測試方法都增補(bǔ)了校準(zhǔn)的基于PL信號的壽命測試。也可以簡單地將工具作為標(biāo)準(zhǔn)的WCT-120使用。