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ABeam Technologies載物臺XENOS XeMove

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產(chǎn)品介紹

XENOS XeMove載物臺使用先進的激光測量系統(tǒng)和超聲波壓電驅(qū)動技術(shù)，結(jié)合我們的光刻系統(tǒng)（測量分辨率為10nm），可獲得優(yōu)于100nm的縫合和覆蓋精度。

XeMove：電子束光刻平臺

緊湊的設(shè)計允許用作子階段或更換階段，只需要電氣室饋通。所有組件都是高真空兼容且完全非鐵磁的。緊湊的設(shè)計包括激光測量系統(tǒng)和壓電驅(qū)動部件。軸上測量將偏航誤差的影響降至更低。行程范圍從55毫米到120毫米不等。

性能特點
  • 集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中不需要復(fù)雜且昂貴的腔室修改。
  • 測量系統(tǒng)不需要激光視口，載物臺電機不需要機械饋通，所有有源部件都放置在真空室內(nèi)，并通過標(biāo)準(zhǔn)電氣饋通進行電子控制。
  • 對于某些腔室設(shè)計（例如JEOL JSM-7xxx），載物臺可以通過負(fù)載鎖插入，并通過腔室內(nèi)的特殊電ZIF觸點連接。
  • 當(dāng)平臺停止時，驅(qū)動電機斷電，位置被機械鎖定，從而將總功耗降至更低，防止加熱和相關(guān)漂移。
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：美國

類型：電子束光刻平臺

測量分辨率：10nm

行程范圍：55mm到120mm

縫合精度：優(yōu)于100nm

覆蓋精度：優(yōu)于100nm

激光視口：不需要

機械饋通：不需要

觸點連接：ZIF

兼容：高真空

組件：非鐵磁

部件驅(qū)動：壓電

產(chǎn)品參數(shù)

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